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洁净厂房消防设施配置
自动灭火设备
1.自动喷水灭火系统
目前，自动喷水灭火系统已成为洁净厂房消防系统的首选配置。设置在洁净室或洁净区的自动喷水灭火系统，宜采用预作用自动喷水灭火系统。自动喷水灭火系统的设计应符合现行国家标准的
《自动喷水灭火系统设计规范》GB50084的要求。按照《自动喷水灭火系统设计规范》GB50084的要求，其喷水强度一般不宜小于8.0L/(min.m2)，作用面积不宜小于160m'。
2.其他灭火设施
除设置水灭火系统之外，在SiH4配送区域应当设置直接作用于各个气瓶的水喷雾系统，该系统的动作信号应当来自感光探测器，如在远离建筑物的区域设计的开放式配送系统且采取了有效措施减轻爆轰影响后，可以不设置水喷雾系统。另外目前较为广泛使用的还有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等洁净气体灭火系统。
二氧化碳具有毒性，使用不当会使人窒息，不能用于有人的场所，而且其冷却作用较大，对精密仪器会产生一定影响。IG541气体灭火机理为物理灭火，灭火较慢，它的储存压力较高，被保护的区域较大，但钢瓶的用量多，钢瓶间储存空间较大，而且对系统管网要求高，计算复杂。七氟丙烷气体灭火机理为化学灭火，灭火较快，一般输送距离不宜大于35m，但被保护对象体积较大时，需配置2套系统，会增加投资造价。综上所述，在洁净厂房存放贵重设备和仪器、物料的洁净室设置气体灭火系统时，不应采用会导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂，应进行方案比较，选择最合适的系统设计。
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