根据《建设工程监理规范》，监理单位对设备制造单位质量管理体系的审查内容包括（ ）。
设备制造单位报送的设备制造生产计划和工艺方案
设备制造的检验计划和检验要求
审核设备制造过程的检验结果，并检查和监督设备的装配过程
设备制造的原材料的质量证明文件及检验报告
设备制造单位报送的设备制造结算文件
项目监理机构应检查设备制造单位的质量管理体系，审查内容包括：设备制造单位报送的设备制造生产计划和工艺方案，设备制造的检验计划和检验要求，设备制造的原材料、外购配套件、元器件、标准件，以及坯料的质量证明文件及检验报告等。