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1.按故障发生、发展的进程，可将设备故障分为突发性故障和渐发性故障;按故障的性质，可将设备故障分为自然故障和人为故障。引起故障的外因有环境因素、人为因素、时间因素等。可以用直接特征参量或间接特征参量来描述故障。
2.可以按诊断的目的、要求和条件的不同，按诊断的物理参数及按诊断的直接对象对诊断技术进行分类。设备故障诊断技术的实施过程分为状态监测、分析诊断和治理预防三个阶段，各个阶段都完成各自的任务。
3.振动加速度的测量通常采用压电加速度传感器。压电加速度传感器是基于压电晶体的压电效应工作的，属于能量转换型传感器。它由压紧弹簧、质量块、压电晶片和基座等部分组成。
振动速度的测量通常采用磁电速度传感器，它基于磁电感应工作的，也属于能量转换型传感器。振动位移的测量通常采用涡流位移传感器。它基于金属体在交变磁场中的电涡流效应工作的，属于能量控制型传感器。工作时，将传感器顶端与被测对象表面之间的距离变化转换成与之成正比的电信号。这种传感器不仅能测量一些旋转轴系的振动、轴向位移，还能测量转数。可以采用振动总值法判别异常振动，如若要进一步查出异常的原因和位置，就要对振动信号进行频谱分析。用振动脉冲测量法可以有效地诊断出滚动轴承的磨损和损伤。
4.噪声的强弱可以用声压级、声强级、声功率级表示。声波的声压级是声波的声压与基准声压之比以10为底的对数的20倍。声波的声强级是声波的声强与基准声强之比以10为底的对数的10倍。声波的声功率级是声波的功率与基准功率之比以10为底的对数的10倍。声功率是根据测量的声压级换算得到。测量噪声常用的仪器有传声器、声级计、校准器、频谱分析仪等。常用的传声器有电容传声器和压电传声器。电容传声器的基本结构是一个电容器。在极化电压、负载不变的情况下，输出交变电压的大小和波形由作用在膜片上的声压决定。电容传声器属于能量控制型传感器。压电传声器由具有压电效应的晶体来完成声电转换，属于能量转换型传感器。声级计用来测量声级和进行频谱分析。声级计由传声器、衰减(放大)器、计权网络、均方根值检波器、指示表头等组成。使用声级计时，每次测量开始和结束都应该校准，两次差值不应大于1dB。