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5.3.3砂滤
能去除生化过程和化学沉淀中未能去除的颗粒和胶体物质，还能作为水质把关单元保证后续工序的正常运转。三级处理中的砂滤与给水处理中的砂滤在工艺上具有以下几个不同的方面：
⑴反冲洗;
⑵稳定性;
⑶池型选择;
⑷设计参数也有所不同。
5.3.4活性炭吸附
利用活性炭吸附可以除臭、脱色、去除微量的元素以及放射性污染物质，而且还能吸附多种类型的有机物。通过活性炭吸附，可以去除一般的生化和物化处理单元难以去除的微量污染物。活性炭一般有粉状、粒状和块状三种，
在活性炭吸附装置中，使用最多的是滤床类吸附装置，设计内容主要包括接触时间、吸附滤速、操作压力、炭层厚度、反冲洗以及预处理等。
5.3.5臭氧氧化
臭氧的氧化性很强，在理想的反应条件下，臭氧可把水溶液中大多数单质和化合物氧化到它们的最高氧化态，对水中有机物有强烈的氧化降解作用，还有强烈的消毒杀菌作用。臭氧对废水中的酚、油脂、洗涤剂、腈、胺、染料等有机物和铁、锰等无机物有显著的去除效果。其次臭氧的处理时间短，不生成污泥，并增加水中的溶解氧。臭氧可用电和空气就地制取，不必贮藏和运输，应用时操作管理方便，但是目前废水臭氧处理主要存在的问题是设备投资大，耗电及处理成本高。臭氧氧化处理装置是一些气液接触装置如多孔扩散器鼓泡填料塔，筛板塔等。
5.3.6膜分离技术
三级处理中，采用膜分离技术去除的主要污染物是难降解、难分离的高分子有机污染物以及重金属离子等，主要采用的技术是微滤、超滤和反渗透。膜法城市污水高级处理是城市污水资源化的一种重要手段住要流程为混凝沉淀、过滤、活性炭吸附等处理过程，以及后续的膜分离技术。所产生的回用水可用于工业过程用水、地下水回注、农业用水及各种杂用水，甚至饮用水等。
