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属于这类分析方法的有原子发射光谱法(AES)、原子吸收光谱法(AAS)、原子荧光光谱法(AFS)以及X射线荧光光谱法(XFS，这是应对欧盟RoHS指令最主要的仪器)等。
(1)原子发射光谱分析(AES)，它是利用原子对辐射的发射性质建立起来的分析方法，主要用于微量多元素的定量分析。
(2)原子吸收光谱分析(AAS)，它是利用原子对辐射的吸收性质建立起来的分析方法，主要用于微量单元素的定量分析。
(3)原子荧光光谱分析(AFS)，它是利用原子对辐射激发的再发射性质建立起来的分析方法。主要用于微量单元素的定量分析。