可以作为超临界流体的物质很多，如CO₂、NH₃、C₂H₆、CCl₂F₂、C₇H₁₆等，实际应用CO₂较多。CO₂的临界温度（Tc=31.4℃）接近室温，临界压力（Pc=7.37MPa）也不太高，易操作，且本身呈惰性，价格便宜，是中药超临界流体萃取中最常用的溶剂。